该晶圆创造厂处于西北中北部,主耍制作8寸大半导体芯片晶圆,单日废水处理工艺产生量约800吨。可能制作进程中选用大量的氢氧化钠做晶圆蚀刻,引起废水处理工艺中氟化物含量超过200-300mg/L,远超国产生的标准(10mg/L以上)。
工业废水营养成分及由来
废水处理工艺其主要来源两个关键环节:
晶圆蚀刻繁琐流程
:含高氨水浓度氟化物(HF)、氯化铵及极富高价属
物理化学机械化打磨(CMP)废污水
:含纳米级级硅颗粒状、巧妙络合剂
系统洗掉废渣
:含异丙醇、化学需氧量等氮化合物物
加工新工艺流程
适用"化工析出+水泥混凝土析出+深度的滤过"四级除理平台:
二级加工处理
:加药氯化钙和氢空气氧化钙,成型氟化钙乳浊液,氟化物祛除率达85%
五级处理
:移除PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),洗去氢氧化铁态造成的污渍
3级处里
:经过多物质滤过器和活性酶炭吸附剂,有水出氟化物含量稳固在8mg/L以內
重要的专用设备还包括:pH全自动设定模式、斜管沉垫池、板框压滤(污泥干化过滤)。
进而治疗效果
创业项目运营3年监测技术的数据凸显:
氟化物差不多氨水浓度:7.2mg/L(不高于国家地区规定)
COD避开率:92%
厌氧颗粒污泥含水量率:≤65%
年收购氟化钙副食品约150吨,实现了市场化合理利用