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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆创造厂处于西北中北部,主耍制作8寸大半导体芯片晶圆,单日废水处理工艺产生量约800吨。可能制作进程中选用大量的氢氧化钠做晶圆蚀刻,引起废水处理工艺中氟化物含量超过200-300mg/L,远超国产生的标准(10mg/L以上)。 工业废水营养成分及由来 废水处理工艺其主要来源两个关键环节: 晶圆蚀刻繁琐流程 :含高氨水浓度氟化物(HF)、氯化铵及极富高价属 物理化学机械化打磨(CMP)废污水 :含纳米级级硅颗粒状、巧妙络合剂 系统洗掉废渣 :含异丙醇、化学需氧量等氮化合物物 加工新工艺流程 适用"化工析出+水泥混凝土析出+深度的滤过"四级除理平台: 二级加工处理 :加药氯化钙和氢空气氧化钙,成型氟化钙乳浊液,氟化物祛除率达85% 五级处理 :移除PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),洗去氢氧化铁态造成的污渍 3级处里 :经过多物质滤过器和活性酶炭吸附剂,有水出氟化物含量稳固在8mg/L以內 重要的专用设备还包括:pH全自动设定模式、斜管沉垫池、板框压滤(污泥干化过滤)。 进而治疗效果 创业项目运营3年监测技术的数据凸显: 氟化物差不多氨水浓度:7.2mg/L(不高于国家地区规定) COD避开率:92% 厌氧颗粒污泥含水量率:≤65% 年收购氟化钙副食品约150吨,实现了市场化合理利用

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