该厂为8英尺晶圆生产的线生活配套的超超纯水机系统,经常出现含硅电镀废水150吨。电镀废水内虽无巨资属,但硅水平高易积灰,且内阻率需提升18MΩ·cm能够工农业废水办理。增加了办理工学艺是没办法实现新修订的《智能工农业水污染问题物的排放要求要求》(GB39731-2020)独特的排放要求规定值。
废渣材质特征
主要是的废水
:橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、粒子硅(孔径0.1-1μm)
比较特殊规范
:TOC<10μg/L,硼水分含量<5μg/L
水体功能
:低纯水电导率(<50μS/cm)但硅化学物质型态复杂性
除理艺的流程
信息化通过"梯级膜破乳+电去阳离子"组合公式加工过程:
微滤预除理
:1μm瓷砖膜屏蔽大颗粒状硅,通量提升80LMH
阴阳离子更换不饱和树脂
:D201大孔树脂材料确定性离心分离硅酸碳原子
五级RO系统
:1、段回收公司率60%,第二步段使用高脱硼膜部件
EDI电去阴阳离子
:功率强度2A/m²,快速取除残存阴离子
紫外光灭菌
:254nm太阳光的紫外线灭菌灯线用量40mJ/cm²
高技术新亮点
设计专用工具阻硅剂(有机物胺类包覆物),廷缓膜影响周期公式3倍
EDI包块技术创新流道设计方案,硅我们要除率发展至99.8%
手机在线硅定量检测仪(量测面积0.1-500μg/L)做到精准服务把握
正常运行功效
经三方协议书测试:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼成分从8μg/L降低0.3μg/L
模式收旧率从原40%加强至68%
膜更改周期长延长了至5年,年运营料工费减小35%