某半导体行业营造商家因晶圆冲洗繁琐流程导致含氨生活污水,容量200吨/天。生活污水下除氟化物外还富含氟化物和氢化物发生器高价属,处理关卡大。本县摆放条件特殊要求氟化物<5mg/L,氟化物<3mg/L。
污水组成成分及起源
晶圆进行维护清洁化工废水(包括源):含氟化物200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀多种工序生活污水:含轻微铜、镍等高价属,pH值价格波动大
CMP磨研废渣:含硅颗料及挥发酚
处里技术方案
用"检查是否沉淀物中+膜剥离 +折点氯化"组成工艺技术:
预正确处理
:加药系统CaCl2除氟,管理pH在7.5-8.
反渗透膜平台
:的还原0.01μm上文颗粒剂物
反加入溶缩
:将化学需氧量浓缩液至1000mg/L大于
折点氯化
:高精度掌控氯添加量,将挥发酚转换成为惰性气体
正离子互换
:的保障血本属及格
结果疗效
氟化物稳定性高<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属硫含量降至检查测量限
水循环率达75%
工业废水诞生量极大减少40%