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半导体厂含砷废水处理案例

杭州某半导商家低氧化还原电位含砷废液治疗该项目(铁离子交換宽度除砷新工艺) 一、投资项目蓝本 扬州某半导体材料制造业企业认准砷化镓晶片锯开、蚀刻与精磨道工序,研发全过程中带来低盐浓度含砷冲刷电镀废水,日整理量 120m³(5m³/h)。源水地表水:总砷 0.4-0.6mg/L(月均 0.5mg/L)、pH 6.5-7.5、悬浮物物 50-80mg/L、含进样器氟阴离子与磷酸。互联网行业排污要求(GB 39731-2020)总砷卫生防护距离 0.5mg/L,制造业企业内控要求≤0.01mg/L,一般化学奠定法冒水震荡大、无发动态平衡及格,且淤泥产出量高,需研发高导致精度、低淤泥的整理工学艺。 二、工艺设计构思会选择与设计构思 经小试比较耐腐蚀结晶、吸、正正离子交換等生产制作工艺,决定性用到机戒过滤水 + 活性酶炭吸 + Tulsimer A-62MP 珍禽正正离子交換硅橡胶乐队组合生产制作工艺,基本优越为治理控制精度更高、启动稳定性高、污泥处理量极低、自主化的程度更高。 机制滤过模快:所采用石英晶体砂滤过器,剔除废水内透明桌面物、固体颗粒状及的部分大原子核设计物,浸水压强 0.2-0.3MPa,滤过气速 8m/h,公款私存孔径≥20μm,以防止溶物闭塞后继光敏硅橡胶,大大减少光敏硅橡胶污染问题强度。 化学活化炭灵活性酶类炭吸收剂单元测试:配用柱状体椰壳化学活化炭(碘值≥1000mg/g),灵活性酶类炭吸收剂池里微量分析有机化学物、余氯及方面砷的络合价值形式,进次废气处理水质标准,维护铁离子置换硅橡胶,灵活性酶类炭吸收剂排斥时光 30min,化学活化炭充实量 1.2m³,每 3 月降解次。 正阴阳阳离子相互更换模块:主导为 Tulsimer A-62MP 大孔酸性性阴正阴阳阳离子相互更换树酯,该树酯对砷酸根(AsO₄³⁻)、亚砷酸根(AsO₂⁻)具备有高取舍性吸附性能力素质,不会遭受一般阴正阴阳阳离子(Cl⁻、SO₄²⁻)干挠。树酯注射量 2.5m³,相互更换柱长度 1.2m、长度 2.4m,来说水力等待时光 15min,启用流动速度 5m/h;树酯过剩后用 4% NaOH 水溶液降解,降解液用水量为树酯体积大概的 2 倍,降解时光 4h,降解后用冷水冲洗器至碱性,反复实用,降解时间间隔约 7 天。 三、基本运作工作流程 废水处理处理工艺持续:研发含砷废水处理处理工艺经供水管道汇到自动调理池,均质均量,自动调理池有效果溶量 50m³,停日期 10h,池内设施芬顿反应搅拌设备试验装置,以避免悬停物奠定,相对稳定浸水饮用水质发电量。 厂家滤出:调准池化工废水经泵升级至石英石砂滤出器,剔除浮窗物后,水流浮窗物≤5mg/L,自动流出来到活性酶炭降解罐。 树脂吸附性炭树脂吸附:废水处理工艺与树脂吸附性炭宽裕接触到,取除设计物与沉渣后,出水量流入亚铁离子相互交换柱,展开角度除砷。 正阴离子交易除砷:废污水从上到下流过硅橡胶层,砷酸根、亚砷酸根与硅橡胶上 Cl⁻进行交易的反应,砷正阴离子被硅橡胶物理吸附,水流总砷≤0.01mg/L,达到标准后中水回用至生產工步或产生。 硅橡胶材料再造:当有水出砷浓硫酸浓度>0.008mg/L 时,开机再造程序代码:先反洗(自来水自下而上清洗硅橡胶材料层,除掉表层硫氰酸盐,反洗气速 10m/h,时段 15min)→再造(4% NaOH 氢氧化钠溶液从上到下流过硅橡胶材料层,过柱降解的砷正离子,再造气速 2m/h)→正洗(自来水从上到下清洗硅橡胶材料,除掉余留再造液,正洗气速 5m/h,时段 30min)→后备电源,再造废弃物获取后集中点清理,以免 分批空气污染。 四、作业效用与动态数据介绍 投资项目累计操作 12 个月时间,各种指標不稳定性合格,核心区数据源方式: 漏液总砷:0.4-0.6mg/L(一般 0.5mg/L); 留水总砷:0.003-0.008mg/L(均值 0.005mg/L),除去率≥99%; 冒水 pH:6.8-7.2,符合要求工业废水处理规范; 光敏树脂重复利用利用过渡期:7±1 天,重复利用利用液砷氧化还原电位约 15-20mg/L,重复利用利用废弃物经耐腐蚀积累净化处理后及格排污; 淤泥产品量:仅为传统文化化学悠长岁月中法的 5%,小幅缩减淤泥正确处理总成本。 五、投入与效率剖析 的投入利润:总的投入 180 万余元,在其中程序费 120 万余元(过虑罐、过滤罐、正离子传递柱、泵、自动化控制程序等)、装置费 30 万余元、复位基本他花费 30 万余元。 自动运行利润:约 2.8 元 /m³,比如树酯损失(0.5 元 /m³,树酯采用耐用度 3-5 年)、药物制剂费(0.8 元 /m³,NaOH、硝酸等)、水电费(0.6 元 /m³)、工人及维保费(0.9 元 /m³)。 经济发展:出水出水稳定的考虑内控规范标准,以防环保性超出标准风险分析;补救后废气循环率达 80%,年可节约自来水管保险费用的约 40 W;污水减轻药量 95%,年缩短污水正确处理保险费用的约 25 W,网络综合年净贴现率约 60 W,投资加盟收旧期 3 年。 六、经典案例汇总 本的项目对於半导体器件低溶度含砷废气 “低溶度、高控制精度规定要求、水体质量多样化” 显著特点,主要采用阴离子互转组合公式生产技能,确保目标解决处理传统式生产技能溢水起伏、厌氧颗粒污泥干化量大的关注点。生产技能电脑机械化方面高,操控操作简单,电脑运行安稳,除砷感觉优良,溢水总砷安稳≤0.01mg/L,还确保废气循环与厌氧颗粒污泥干化减轻,具有大环境盈利能力与资金盈利能力,为光电子互联网行业低溶度含砷废气深度.处理能提供可黏贴的技能方式。

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